GB/T 34894-2017 微機電系統（MEMS）技術(shù) 基于光學(xué)干涉的MEMS微結構應變梯度測量方法 Micro-electromechanical system technology-Measuring method for strain gradient measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer

本標準規定了基于光學(xué)干涉顯微鏡獲取的微懸臂梁結構表面形貌進(jìn)行應變梯度測量的方法。
本標準適用于表面反射率不低于4％且使用光學(xué)干涉顯微鏡能夠獲取表面形貌的微懸臂梁結構。GB/T 34894-2017 　 微 機 電 系 統 （ MEMS ） 技 術(shù) 基于光學(xué)干涉的MEMS微結構 　　　應變梯度測量方法 Micro-electromechanical system technology-Measuring method 　 for strain gradient measurements of MEMS microstructures 　 　 　 　 　 　 　 　 using an optical interferometer 2017-11-01發(fā) 布 2018-05-01實(shí) 施 廠(chǎng) ” ＼ 土 查 鈔 眇 型 國 罔 褰 質(zhì) 蘋(píng) 晦 腎 憾 蹬 簪 廈 發(fā) 布 絮 藩 ／ 甲 幽 國 豕 懷 催 怕 官 理 安 貝 云 GB/T 34894-2017 目 次 前 言 ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？