GB/T 43104-2023 碳基薄膜 分類(lèi)及命名

本文件規定了碳基薄膜的分類(lèi)、命名及簡(jiǎn)稱(chēng)。本文件所述的碳基薄膜是以碳為主要成分，并由物理氣相沉積（PVD）或化學(xué)氣相沉積（CVD）制備所得的薄膜。碳基薄膜包括非晶碳基薄膜[又稱(chēng)為類(lèi)金剛石薄膜(DLC)]，CVD金剛石薄膜、石墨薄膜和類(lèi)聚合物碳基薄膜。 本文件適用于工業(yè)規模生產(chǎn)的碳基薄膜。本文件不適用于尚未實(shí)現工業(yè)規模生產(chǎn)的其余種類(lèi)碳基薄膜。 本文件只涉及碳基薄膜材料，不涉及由主體功能層和上/下附加層組成的復合涂層。 薄膜中各層組分和/或性能隨厚度變化的薄膜稱(chēng)為梯度薄膜。本文件涉及的碳基薄膜均指非梯度薄膜。 碳基薄膜可能包含如氫、金屬或其他元素。其中金屬成分還包含金屬碳化物。本文件涵蓋的摻雜碳基薄膜只包括以碳元素為主要成分的薄膜體系。對于碳以碳化物形式存在的含碳基薄膜，也不適用于本文件中的金屬摻雜非晶碳基薄膜（a-C:Me，a-C:H:Me）體系。 本文件不適用于富勒烯、碳納米管、石墨烯、石墨炔等碳材料。 標準號：GB/T 43104-2023 標準名稱(chēng)：碳基薄膜分類(lèi)及命名 英文名稱(chēng)：Carbon based films—Classification and designations 發(fā)布日期：2023-09-07 實(shí)施日期：2024-04-01 采用標準：ISO 20523:2017《碳基薄膜分類(lèi)及命名》 IDT 等同采用 起草人：汪愛(ài)英、段海濤、郭鵬、柯培玲、謝開(kāi)鋒、王鵬、柴利強、林松盛、石倩、李曉偉、林海天 起草單位：中國科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所、武漢材料保護研究所有限公司、寧波新材料測試評價(jià)中心有限公司、中國科學(xué)院蘭州化學(xué)物理研究所、廣東省科學(xué)院新材料研究所、中國礦業(yè)大學(xué)、東莞市華升真空鍍膜科技有限公司 歸口單位：全國金屬與非金屬覆蓋層標準化技術(shù)委員會(huì )(SAC/TC 57)