SJ 21477-2018 磷化銦多晶材料合成工藝技術(shù)要求 Technical requirements for InP poly crystal synthesis process

本標準規定了軍用磷化銦多晶材料合成工藝的人員、環(huán)境、安全、材料、設備和儀器等一般要求，以及磷化銦多晶材料合成工藝的典型工藝流程、各工序技術(shù)要求、檢驗要求等詳細要求。
本標準適用于磷化銦多晶材料注入合成及水平合成工藝。 SJ 21477-2018 磷化銦多晶材料合成工藝技術(shù)要求 Technical requirements for InP poly crystal synthesis process 2018-12-29發(fā) 布 2019-03-01實(shí) 施 。 ’ ‘ 「 「 “ ” 「 “ 「 ‘ “ SJ 21477-2018 月 叨 言 本標準的附錄A為資料性附錄 。 本標準由中國電子科技集團有限公司提出 。 本標準由工業(yè)和信息化部電子第四研究院歸口 。 本標準起草單位：中國電子科技集團公司第十三研究所 。 本 標 準 主 要 起 草 人 ： 李 曉 嵐 、 王 陽(yáng) 、 孫 聶 姻 一 劍 辜 ： 主 、 李 麗 霞 、 邵 會(huì ) 民 、 付 莉 杰 、 王 書(shū) 杰 、 史 艷 磊 、 張曉丹 、 姜劍 SJ 21477-2018 磷化銦多晶材料合成工藝技術(shù)要求 范 圍 本標準規