GB/T 26111-2023 微機電系統（MEMS）技術(shù) 術(shù)語(yǔ)

本文件界定了微機電系統器件及其生產(chǎn)工藝相關(guān)的術(shù)語(yǔ)和定義。本文件適用于微機電系統領(lǐng)域的研究、開(kāi)發(fā)、評測和應用。 標準號：GB/T 26111-2023 標準名稱(chēng)：微機電系統(MEMS)技術(shù)術(shù)語(yǔ) 英文名稱(chēng)：Micro-electromechanical system technology—Terms 發(fā)布日期：2023-05-23 實(shí)施日期：2023-09-01 替代標準：GB/T 26111-2010 采用標準：IEC 62047-1:2016《半導體器件微機電器件第1部分:術(shù)語(yǔ)和定義》 MOD 修改采用 起草人：顧楓、宋秀敏、李根梓、孫立寧、張大成、夏長(cháng)奉、夏善紅、董全林、張衛平、胡曉東、劉會(huì )聰、邢朝洋、劉奎、熊斌、張永斌、張威、崔波、陳得民、王瑋冰、明志茂、李曉波、SHUMINZHANG、張賓、張勝兵、楊飛、高峰 起草單位：中機生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司、西安知微傳感技術(shù)有限公司、蘇州大學(xué)、北京大學(xué)、無(wú)錫華潤上華科技有限公司、中國科學(xué)院空天信息創(chuàng )新研究院、北京航空航天大學(xué)、上海交通大學(xué)、天津大學(xué)、北京航天控制儀器研究所、西安現代控制技術(shù)研究所、中國科學(xué)院上海微系統與信息技術(shù)研究所、北京晨晶電子有限公司、天津新智感知科技有限公司、 中國電子科技集團公司第十三研究所、中國科學(xué)院微電子研究所、廣州廣電計量檢測股份有限公司、南京高華科技股份有限公司、杭州左藍微電子技術(shù)有限公司、廣州奧松電子股份有限公司、華東光電集成器件研究所、江蘇普諾威電子股份有限公司、明石創(chuàng )新(煙臺)微納傳感技術(shù)研究院有限公司 歸口單位：全國微機電技術(shù)標準化技術(shù)委員會(huì )(SAC/TC 336)