GB/T 42709.5-2023 半導體器件 微電子機械器件 第5部分：射頻MEMS開(kāi)關(guān)

本文件界定了用于評估和確定射頻MEMS開(kāi)關(guān)的基本額定值和特性的術(shù)語(yǔ)、定義和符號，描述了參數測試方法。 本文件適用于各種類(lèi)型的射頻MEMS開(kāi)關(guān)，射頻MEMS開(kāi)關(guān)的一般說(shuō)明見(jiàn)附錄A。按接觸方式分類(lèi)，包括直流觸點(diǎn)型開(kāi)關(guān)和電容觸點(diǎn)型開(kāi)關(guān)；按結構分類(lèi)，包括串聯(lián)開(kāi)關(guān)和并聯(lián)開(kāi)關(guān)，射頻MEMS開(kāi)關(guān)的幾何結構說(shuō)明見(jiàn)附錄B；按開(kāi)關(guān)網(wǎng)絡(luò )分類(lèi)，包括單刀單擲開(kāi)關(guān)、單刀雙擲開(kāi)關(guān)和雙刀雙擲開(kāi)關(guān)等；按驅動(dòng)方式分類(lèi)，包括靜電驅動(dòng)開(kāi)關(guān)、熱電驅動(dòng)開(kāi)關(guān)、電磁驅動(dòng)開(kāi)關(guān)和壓電驅動(dòng)開(kāi)關(guān)等。射頻MEMS開(kāi)關(guān)在多頻帶或多模式移動(dòng)電話(huà)、智能雷達系統、可重構射頻器件和系統、SDR（軟件無(wú)線(xiàn)電）電話(huà)、測試設備、可調諧器件和系統、衛星等方面應用廣泛，射頻MEMS開(kāi)關(guān)的應用說(shuō)明見(jiàn)附錄E。