SJ/T 11863-2022 單片超大尺寸掩模板裝載盒規范

本標準規定了液晶顯示器生產(chǎn)工藝中使用超大尺寸掩膜基板裝載盒范。 本標準適用于液晶顯示器生產(chǎn)工藝中使用盛裝超大尺寸掩膜基板裝載盒，本標準適用于掩?；宄叽绶秶鸀榇笥诘扔?50 mm×1 200 mm，小尺寸參照執行。 本文件適用于掩膜基板自動(dòng)裝卸處理，尤其對于大尺寸掩模板是必不可少的。