SJ/T 11865-2022 功率器件用Φ150 mm n型碳化硅襯底

本文件規定了功率器件用Φ150mm n型碳化硅(SiC)襯底的術(shù)語(yǔ)、要求、檢驗方法、檢驗規則、標志、包裝、運輸和儲存。 本文件適用于經(jīng)拋光后制備的Φ150 mm n型 SiC襯底，晶型為4H。