SJ 21320-2018 微組裝濕法清洗設備工藝驗證方法 Technological verification methods for wet cleaning system used in micro-assembly industry

本標準規定了微組裝濕法清洗設備的一般要求、驗證條件和驗證方法等內容。
本標準適用于微組裝水基清洗、溶劑清洗等手動(dòng)、半自動(dòng)和全自動(dòng)濕法清洗設備工藝性能的驗證。y industry 2018-01-18發(fā) 布 2018-05-01實(shí) 施 ＠ 「 ‘ 「 「 “ ” 「 「 「 ‘ “ SJ 21320-2018 刖 言 本 標 準 的 附 錄A為 資 料 性 附 錄 。 本 標 準 由 中 國 電 子 科 技 集 團 公 司 提 出 。 本 標 準 由 工 業(yè) 和 信 息 化 部 電 子 第 四 研 究 院 歸 口 。 本標準起草單位中國電子犁夢(mèng)集睡煎髯琊 本 標 準 主 要 起 草 人 ：謝 振 民 爪 玉 ＞ 日 瓢c晁 宇 晴 喇 剡 SJ 21320-2018 微組裝濕法清洗設備工藝驗證方法 范圍 本 標 準 規 定 了 微 組 裝 濕 法 清 洗 設 備 的 一 般 要 求 、 驗 證 條 件 和 驗 證 方 法 等 內 容 。 本 標 準 適 用 于 微 組 裝 水 基 清 洗 、 溶 膏 琳 青 洗 等 手 動(dòng)