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GB/T 42789-2023 硅片表面光澤度的測試方法 GB/T 42789-2023 硅片表面光澤度的測試方法

GB/T 42789-2023 硅片表面光澤度的測試方法

  • 標準類(lèi)別：[GB] 國家標準
  • 標準大?。?/li>
  • 標準編號：GB/T 42789-2023 硅片表面光澤度的測試方法
  • 標準狀態(tài)：現行
  • 更新時(shí)間：2023-09-19
  • 下載次數：次
標準簡(jiǎn)介

本文件描述了采用光反射法以20°、60°或85°幾何條件測試硅片表面光澤度的方法。 本文件適用于硅腐蝕片、拋光片、外延片表面光澤度的測試，不適用于表面有圖形的硅片的測試。

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