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GB/T 24582-2023 多晶硅表面金屬雜質(zhì)含量測定 酸浸取-電感耦合等離子體質(zhì)譜法 GB/T 24582-2023 多晶硅表面金屬雜質(zhì)含量測定 酸浸取-電感耦合等離子體質(zhì)譜法

GB/T 24582-2023 多晶硅表面金屬雜質(zhì)含量測定 酸浸取-電感耦合等離子體質(zhì)譜法

  • 標準類(lèi)別：[GB] 國家標準
  • 標準大?。?/li>
  • 標準編號：GB/T 24582-2023 多晶硅表面金屬雜質(zhì)含量測定 酸浸取-電感耦合等離子體質(zhì)譜法
  • 標準狀態(tài)：現行
  • 更新時(shí)間：2023-09-18
  • 下載次數：次
標準簡(jiǎn)介

本文件描述了用酸從多晶硅表面浸取金屬雜質(zhì)，并用電感耦合等離子質(zhì)譜儀定量檢測多晶硅表面金屬雜質(zhì)含量的方法。 本文件適用于太陽(yáng)能級多晶硅和電子級多晶硅表面堿金屬、堿土金屬和第一系列過(guò)渡元素如鈉、鉀、鈣、鐵、鎳、銅、鋅、鋁等雜質(zhì)元素含量的測定，測定范圍為0.01 ng/g。 替代GB/T 24582-2009

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