GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圓 Quartz glass wafer for lithography

本標準規定了光刻用石英玻璃晶圓(以下簡(jiǎn)稱(chēng)石英玻璃晶圓)的術(shù)語(yǔ)和定義、分類(lèi)、要求、試驗方法、檢驗規則及標志、包裝、運輸和貯存。
本標準適用于半導體集成電路、光通訊、微機電系統(MEMS)、光電器件和發(fā)光二極管(LED)等光刻工藝中用做襯底的石英玻璃晶圓。GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圓 Quartz glass wafer for lithography 2017-09-07發(fā) 布 2018-08-01實(shí) 施 廠(chǎng) ’ ” 、 ‘ 史 華 本 眇 型 叩 客 質(zhì) 蒡 攀 鏖 攀 簪 曼 發(fā) 布 ： 唾 蛋 ／ 甲 國 國 ’ ～ ～1甘 埕 女 ”～ GB/T 34177-2017 刖 舀 　　本標準按照GB/T 1.1-2009給出的規則起草 。 　　本標準由中國建筑材料聯(lián)合會(huì )提出 。 　 　 本 標 準 由 全 國 工 業(yè) 玻 璃 和 特 種 玻 璃 標 準 化 技 術(shù) 委 員 會(huì ) （ SAC/TC 447） 歸 口 。 　　本標準起草單位：中國建材檢驗認證集團股份有限公司 、 中建材衢州金格蘭石英有限公司 、 長(cháng)沙韶 光鉻版有限公司 、 中國建筑材料科學(xué)研究總院 、 國家安全玻璃及石英玻璃質(zhì)量監督檢驗中心 。 　 　 本 標 準 主 要 起 草 人 ： 吳 潔 、 王 京