GB/T 4060-2018 硅多晶真空區熔基硼檢驗方法 Test method for boron content in polycrystalline silicon by vacuum zone-melting method

本標準規定了多晶硅中基硼含量的測試方法。
本標準適用于在硅芯上沉積生長(cháng)的多晶硅棒中基硼含量的測定?；鸷浚ㄔ訑担y定范圍為
0.01X10¹⁸cm^-3~5X10¹⁵cm^-3。 GB/T 4060-2018 代替GB/T 4060-2007 硅多晶真空區熔基硼檢驗方法 Test method for boron content in polycrystalline silicon by vacuum 　　 　 　 　　 　 　 　　 　zone-melting method 2018-09-17發(fā) 布 2019-06-01實(shí) 施 廠(chǎng) ？ 氣 黯 膏 熹 轆 鼴 隳 欠 發(fā) 布 ＼ 淹 “ GB/T 4060-2018 月 明 呂 　　本標準按照GB/T 1.1-2009給出的規則起草 。 　　本標準代替GB/T 4060-2007《 硅多晶真空區熔基硼檢驗方法 》 ， 與GB/T 4060-2007相比 ， 除編 輯性修改外主要技術(shù)變化如下： 　　 — —增加了規范性引用文件GB/T 620-2011,GB/T 626-2006 , GB/ T 11446.1-2013,GB/T 25915.1- 　 　 　 　201