GB/T 15909-2017 電子工業(yè)用氣體 硅烷 Gas for electronic industry-Silane

本標準規定了硅烷氣體的技術(shù)要求、試驗方法、標志、包裝、貯運及安全的內容。
本標準適用于硅化鎂法、氫化鋁鈉還原四氟化硅法、氯硅烷歧化工藝法制備的電子工業(yè)用硅烷。它主要用于制作高純多晶硅、二氧化硅的低溫化學(xué)氣相淀積、氮化硅化學(xué)氣相淀積、多晶硅隔離層、多晶硅歐姆接觸層和異質(zhì)或同質(zhì)硅外延生長(cháng)原料以及離子注入源和激光介質(zhì)等，還可用于制作太陽(yáng)能電池、光導纖維和光電傳感器等。
分子式：SiH_4。
相對分子質(zhì)量：32.117（按2011年國際相對原子質(zhì)量）。GB/T 15909-2017 代替GB/T 15909-2009 電子工業(yè)用氣體硅烷 Gas for electronic industry-Silane 2017-05-31發(fā) 布 2017-12-01實(shí) 施 妒 。？ ？ ＇J、 中 華 人 民 共 和 國 國 家 質(zhì) 量 監 督 檢 驗 檢 疫 總 局 任 ＋ 左 ／產(chǎn) 中 國 國 家 標 準 化 管 理 委 員 會(huì ) 認 ” ’J ＼ 刮 涂 層 查 冀 飽 　 、 ‘ 、 、 一 ． ～ ～ 戶(hù) 一 ／ GB/T 15909-2017 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 一 前 　 　 　 　 　 　 西 　　本標準按照GB/T 1.1-2009給出的規則起草 。 　　本標準代替GB/T 15909-2009《 電子工業(yè)用氣體硅烷 》 。 與GB/T 15909-2009相比 ， 除編輯性 修改外