GB/T 25915.10-2021 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境  第10部分：按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級 Cleanrooms and associated controlled environments- Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration

本文件定義了潔凈室中有關(guān)化合物或化學(xué)物質(zhì)（包括分子、離子、原子、顆粒物）存在情況的表面潔凈度分級系統。
本文件適用于潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中所有表面，如墻面、頂棚、地面、工作環(huán)境、工具、設備和裝置。
注1：本文件僅考慮徽粒子的化學(xué)性質(zhì)，未考慮微粒子的物理性質(zhì)．本文件不包括污染物與表面之間的相互作用。
注2：本文件不涉及污染產(chǎn)生的過(guò)程。不涉及與時(shí)間有關(guān)的影響因素（沉降、沉積、老化等）以及與過(guò)程有關(guān)的活動(dòng)（如轉移、處理等），也不涉及為確保符合性的統計質(zhì)量控制技術(shù)指南。T 25915.10-2021/ISO 14644-10:2013 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第10部分： 按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級 　 　 　 　 　 Cleanrooms and associated controlled environments- Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration (ISO 14644-10:2013 , IDT) 2021-08-20發(fā) 布 2022-03-01實(shí) 施 ‘ ， 。 。 ， J吼國家市場(chǎng)監督管理總局小去 妒捶尹國家標準化管理委員會(huì )及”刀 GB/T 25915.10-2021/ISO 14644-10:2013 目 次 前 言 ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ 皿 引 言 ？