GB/T 33523.604-2022 產(chǎn)品幾何技術(shù)規范（GPS） 表面結構 區域法 第604部分：非接觸（相干掃描干涉）式儀器的標稱(chēng)特性 Geometrical product specifications (GPS ) - Surface texture: Areal- Part 604: Nominal characteristics of non-contact (coherence scanning interferometry) instruments

本文件規定了用于表面高度三維映射的相干掃描干涉（CSI）測量系統的計量特性。 33523.604-2022/ISO 25178-604:2013 　　　產(chǎn)品幾何技術(shù)規范 （ GPS) 　　　　　表面結構區域法 第604部分：非接觸 （ 相干掃描干涉 ） 式 　　　　　儀器的標稱(chēng)特性 Geometrical product specifications (GPS ） 一 Surface texture: Areal- Part 604: Nominal characteristics of non-contact (coherence scanning 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 interferometry) instruments (ISO 25178-604:2013, ID1') 2022-12-30發(fā) 布 2023-04-01實(shí) 施 嶷 3、 翟玄 ； ； ； 翱壙 　 翻 ？ c二 飛 含 ’ GB/T 33523.604-2022/150 25178-604:2013 目 次 前 言 ？ ？ ？