GB/T 38446-2020 微機電系統(MEMS)技術(shù) 帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法 Micro-electromechanical system technology--Test methods for tensile property measurement of strip thin films

本標準規定了帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法及數據處理。
本標準適用于厚度在50nm到數微米之間且長(cháng)度和厚度的比值大于300的樣品，也可用于MEMS產(chǎn)品帶狀薄膜結構的質(zhì)量監控。GB/T 38446-2020 　 微 機 電 系 統 （ MEMS ） 技 術(shù) 帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法 　 　 　 　 　 Micro-electromechanical system technology- Test methods for tensile property measurement of strip thin films 2020-03-06發(fā) 布 2020-10-01實(shí) 施 國家市場(chǎng)監督管理總局必活 ， 國家標準化管理委員會(huì )仄”p GB/T 38446-2020 目 次 前 言 ？？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ I 1范 圍 ？？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？