GB 50809-2012 硅集成電路芯片工廠(chǎng)設計規范 Code for design of silicon integrated circuits wafer fab

本規范適用于新建、改建和擴建的硅集成電路芯片工廠(chǎng)的工程設計?？?酵 標 準 G目 GB 50809-2012 硅集成電路芯片工廠(chǎng)設計規范 Code for design of silicon integrated circuits wafer fab 2012-10-11發(fā) 布 2012-12-01實(shí) 施 寶 多 ． 憶 墾 產(chǎn) ！ 理 隹 歲 于 暨 爛 ： 到 色 剪 聯(lián) 合 發(fā) 布 ’1邊 ：書(shū)Ott:女 不u ！ 到 一 警 ！ 勿 釗 災 國m 省 15丈 與 互 書(shū) 立 7殳J忌I司 中華人民共和國國家標準 　 硅 集 成 電 路 芯 片 工 廠(chǎng) 設 計 規 范 Code for design of silicon integrated circuits wafer fab GB 50809 - 2012 主編部門(mén)：中華人民共和國工業(yè)和信息化部 批準部門(mén)：中華人民共和國住房和城鄉建設部 施行日期：2 0 1 2年1 2月．1日 中國計劃出版社 ？ 2012北 ’京 　　中華人民共和國國家標準 硅集成電路芯片工廠(chǎng)設計規范