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BS EN 62047-21-2014 半導體裝置 微機電設備 MEMS薄膜材料泊松比的測試方法 Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials BS EN 62047-21-2014 半導體裝置 微機電設備 MEMS薄膜材料泊松比的測試方法 Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials

BS EN 62047-21-2014 半導體裝置 微機電設備 MEMS薄膜材料泊松比的測試方法 Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials

  • 標準類(lèi)別：
  • 標準大?。?/li>
  • 標準編號：BS EN 62047-21-2014
  • 標準狀態(tài)：現行
  • 更新時(shí)間：2023-05-17
  • 下載次數：次
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