GB/T 25915.2-2021 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第2部分：潔凈室空氣粒子濃度的監測 Cleanrooms and associated controlled environments-Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration 

本文件規定了監測計劃的基本要求。這個(gè)監測計劃依據所測量的空氣中懸浮粒子濃度或對其有影響的其他參數，監測潔凈室或潔凈區按粒子濃度劃分的空氣潔凈度方面的性能。
本文件適用于粒徑0.1μm~5μm粒子濃度的監測。
本文件不適用于振動(dòng)或工程系統一般維護等監測。超細粒子（小于0.1μm的粒子）濃度的監測，將在另一個(gè)標準中規定。/T 25915.2-2021/ISO 14644-2:2015 　　　　　　　　　　　　　代替GB/T 25915.2-2010 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第2部分：潔凈室空氣粒子濃度的監測 Cleanrooms and associated controlled environments-Part 2: Monitoring to 　 　 　 　 　 provide evidence of cleanroom performance related to air 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 cleanliness by particle concentration (ISO 14644-2:2015, IDT) 2021-08-20發(fā) 布 2022-03-01實(shí) 施 、 金鼷驃鞲艘髂發(fā)布 GB/T 25915.2-2021 /ISO 14644-2:2015 目 次 前 言 ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？