GB/T 25915.15-2022 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第15部分：按氣態(tài)化學(xué)物濃度評定設備及材料的適用性

本文件規定了評定潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中設備和材料的適用性要求，提供了指南。 本文件不適用于以下內容：健康和安全要求，清潔劑及清潔技術(shù)的相容性，清潔性，生物污染，工藝和產(chǎn)品對設備和材料的特定要求，設備的設計細節。