GB/T 42263-2022 硅單晶中氮含量的測定 二次離子質(zhì)譜法

本文件描述了硅單晶中氮含量的二次離子質(zhì)譜測試方法。 本文件適用于硼錦、砷磷的摻雜濃度小于1X10（20）cm-3(0.2%)的硅單晶中氮含量的測定，測定范圍不小于1X10（14）cm-3 注:硅單晶中氮含量以每立方厘米中的原子數計。