GB/T 42274-2022 氮化鋁材料中痕量元素（鎂、鎵）含量及分布的測定 二次離子質(zhì)譜法

本文件描述了氮化鋁單晶中痕量鎂和鎵含量及分布的二次離子質(zhì)譜測試方法。 本文件適用于氮化鋁單晶中痕量鎂和鎵含量及分布的定量測定，測定范圍為鎂、鎵的含量均不小于1×1016 cm-3，元素含量（原子個(gè)數百分比）不大于1%。 注：氮化鋁單晶中待測元素的含量以每立方厘米中的原子個(gè)數計。