GB/T 40344.1-2021真空技術(shù) 真空泵性能測量標準方法 第1部分：總體要求Vacuum technology. Standard methods for measuring vacuum-pump performance. Part 1:General description

GB/T 40344的本部分規定了三種體積流率測量方法，并分別規定了測量真空泵基礎壓力、壓縮比和臨界前級壓力的方法。測量體積流率的第一種方法(流量法)是一種基礎方法:向真空泵內注人穩定流量的氣體，同時(shí)測量泵的人口壓力。在實(shí)際測量中，氣體流量的測量可能是復雜或不精確的。為此，規定了另兩種方法，以避免直接測量流量。測量體積流率的第二種方法(小孔法)適用于人口壓力非常低(高真空或者超高真空)、流量非常小的情況。該方法是基于測量測試罩雙測試室中的壓力比。該測試罩由一個(gè)帶圓孔的薄壁分隔成兩個(gè)腔室。測量體積流率的第三種方法(抽氣法)是基于大型容器抽空的方法，非常適用于自動(dòng)化測量。通過(guò)抽氣間隔前后的兩個(gè)壓力值和測試罩的體積來(lái)計算體積流率。測量結果及最后得出的體積流率受不同條件影響，如漏率和放氣率、抽氣間隔過(guò)程中由于接近于等嫡膨脹引起的氣體冷卻、低壓分子流態(tài)下引起測試罩與真空泵之間連接管路的流阻增加。測量方法的選擇取決于特定種類(lèi)真空泵的屬性。例如，只有需要配備前級泵的真空泵才需要測量臨界前級壓力。所有未在本部分中規定的真空泵的測量參數(例如功耗的測量)，在相應泵的標準中予以規定。