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GB/T 25915.12-2021潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第12部分：監測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求Cleanrooms and associated controlled environments. Part 12: Specifications for monitoring of air cleanliness by nanoscale particle concentration GB/T 25915.12-2021潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第12部分：監測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求Cleanrooms and associated controlled environments. Part 12: Specifications for monitoring of air cleanliness by nanoscale particle concentration

GB/T 25915.12-2021潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第12部分：監測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求Cleanrooms and associated controlled environments. Part 12: Specifications for monitoring of air cleanliness by nanoscale particle concentration

  • 標準類(lèi)別：[GB] 國家標準
  • 標準大?。?/li>
  • 標準編號：GB/T 25915.12-2021
  • 標準狀態(tài)：現行
  • 更新時(shí)間：2022-10-24
  • 下載次數：次
標準簡(jiǎn)介

本文件給出了監測粒徑限值不超過(guò)0.1 um(100 nm)的“納米尺度”粒子濃度的技術(shù)要求。本文件給出的監測技術(shù)要求主要用于“動(dòng)態(tài)”。

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