GB/T 40577-2021集成電路制造設備術(shù)語(yǔ)Terminology for integrated circuit(IC) manufacturing equipment

本文件規定了集成電路(IC)制造設備的基本和常用術(shù)語(yǔ),包括基礎術(shù)語(yǔ),晶體生長(cháng)加工設備、掩模制造設備、光刻與刻蝕設備、摻雜設備、薄膜淀積設備、清洗設備、封裝設備、檢測設備的術(shù)語(yǔ)及公用部件術(shù)語(yǔ)。本文件適用于集成電路制造設備的設計開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)和應用,也適用于集成電路制造設備的科研、教學(xué)和出版工作。