GB/T 41064-2021表面化學(xué)分析深度剖析用單層和多層薄膜測定X射線(xiàn)光電子能譜、俄歇電子能譜和二次離子質(zhì)譜中深度剖析濺射速率的方法Surface chemical analysis—Depth profiling—Method for sputter rate determination in X-ray photoelectron spectroscopy, Auger electron spectroscopy and secondary-ion mass spectrometry spu

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