GB/T 41073-2021表面化學(xué)分析 電子能譜 X射線(xiàn)光電子能譜峰擬合報告的基本要求Surface chemical analysis. Electron spectroscopies. Minimum reporting requirements for peak fitting in X-ray photoelectron spectroscopy

本文件規定了如何報告X射線(xiàn)光電子能譜的峰擬合及其結果。本文件適用于單個(gè)譜圖或一組相關(guān)譜圖的擬合,例如在深度剖析測試中采集獲得的一組相關(guān)譜圖。本文件提供了一個(gè)應報告的參數列表,以實(shí)現可重復的峰擬合或對多個(gè)譜進(jìn)行擬合與比較。本文件不提供峰擬合的操作說(shuō)明,也不提供應采用的擬合步驟。