GB/T 14264-2009半導體材料術(shù)語(yǔ)Semiconductor materials—Terms and definitions

本標準代替GB/T14264-1993《半導體材料術(shù)語(yǔ)》。本標準與GB/T14264-1993相比,有以下變化:---增加了218項術(shù)語(yǔ);---增加了三個(gè)資料性附錄:包括61項硅技術(shù)術(shù)語(yǔ)縮寫(xiě)、11項符號和標準術(shù)語(yǔ)出處;---修改了原標準中86項術(shù)語(yǔ)內容。本標準的附錄A 和附錄B為資料性附錄。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術(shù)委員會(huì )提出。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術(shù)委員會(huì )材料分技術(shù)委員會(huì )歸口。本標準負責起草單位:中國有色金屬工業(yè)標準計量質(zhì)量研究所、有研半導體材料股份有限公司、杭州海納半導體有限公司和國瑞電子材料有限責任公司。 本標準參加起草單位:洛陽(yáng)單晶硅有限責任公司、峨眉半導體材料廠(chǎng)、寧波立立電子股份有限公司、南京國盛電子有限公司、南京鍺廠(chǎng)有限責任公司、萬(wàn)向硅峰電子股份有限公司、云南東興集團、西安驪晶電子技術(shù)有限公司、中科院半導體所、上海合晶硅材料有限公司。本標準主要起草人:孫燕、黃笑容、向磊、翟富義、盧立延、鄭琪、鄧志杰、賀東江。本標準所代替標準的歷次版本發(fā)布情況為:---GB/T14264-1993。