GB/T 16942-2009電子工業(yè)用氣體.氫Gas for electronic industry—Hydrogen

本標準代替GB/T16942-1997《電子工業(yè)用氣體 氫》。本標準與GB/T16942-1997相比主要變化如下:---修改電子工業(yè)用氫的適用范圍(GB/T16942-1997的第1章,本版的第1章);---修改規范性引用文件(GB/T16942-1997的第2章,本版的第2章);---修改技術(shù)指標內容(GB/T16942-1997 的第3章,本版的第3章);---修改電子工業(yè)用氫抽樣規則(GB/T16942-1997的4.1,本版的4.1.1、4.1.2);---修改電子工業(yè)用氫采樣要求(GB/T16942-1997的4.2,本版的4.1.3);---修改氮、一氧化碳、二氧化碳含量的分析方法(16942-1997的4.4、4.6,本版的4.3);---修改總烴分析方法的檢測限(16942-1997的4.7,本版的4.5);---修改水分含量的分析方法(16942-1997的4.8,本版的4.7);---修改標志、包裝、貯運及安全(GB/T16942-1997的第5章,本版的第5章);---增加規范性附錄A,并把采用氦離子化氣相色譜法測定電子工業(yè)用氫中的氮、一氧化碳、二氧化碳組分的方法寫(xiě)入該附錄(見(jiàn)附錄A)。本標準的附錄A 為規范性附錄。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術(shù)委員會(huì )提出。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術(shù)委員會(huì )氣體分技術(shù)委員會(huì )歸口。本標準起草單位:中國計量科學(xué)研究院、西南化工研究設計院。本標準主要起草人:周澤義、周鵬云。本標準所代替標準的歷次版本發(fā)布情況為:---GB/T16942-1997。