GB/T 14600-2009電子工業(yè)用氣體.氧化亞氮Gas for electronic industry—Nitrous Oxide

本標準代替GB/T14600-1993《電子工業(yè)用氣體 氧化亞氮》。本標準與GB/T14600-1993相比主要變化如下:---修改電子工業(yè)用氧化亞氮的適用范圍(GB/T14600-1993的第1章,本版的第1章);---修改規范性引用文件(GB/T14600-1993的第2章,本版的第2章);---修改技術(shù)指標內容(GB/T14600-1993的第3章,本版的第3章);---增加電子工業(yè)用氧化亞氮采樣安全要求(見(jiàn)4.1.2);---增加尾氣處理的要求(見(jiàn)4.3);---修改一氧化碳、二氧化碳、烴C1~C5、氮、氧含量檢驗方法的檢測限和標準樣品的規定(GB/T14600-1993的4.4、4.5、4.6、4.7、4.8,本版的4.5、4.6、4.7、4.8);---修改水分含量的檢驗方法(GB/T14600-1993的4.7,本版的4.11);---修改標志、包裝、貯運及安全(GB/T14600-1993的第6章、第7章,本版的第5章)。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術(shù)委員會(huì )提出。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術(shù)委員會(huì )氣體分技術(shù)委員會(huì )歸口。本標準起草單位:中國計量科學(xué)研究院、西南化工研究設計院、大連光明化工研究院。本標準主要起草人:周澤義、孫福楠、周鵬云。本標準所代替標準的歷次版本發(fā)布情況為:---GB/T14600-1993。